GB/T 24469-2009 电子工业用气体 5N氯化氢

本标准规定了电子工业用气体 5N氯化氢的技术要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、储存、充装、分装和安全要求。
　　本标准适用于以工业氯化氢为原料经净化制得的瓶装液化氯化氢。
　　氯化氢主要用于微电子工业半导体器件生产中单晶硅片气相抛光、外延和基座腐蚀工艺。也可用于硬质合金和玻璃表面处理、医药中间体和精细化学品制造、科学研究等领域。

　　本标准根据GB/T 14602-1993《电子工业用气体氯化氢》同类产品标准，结合原料、生产工艺特点及半导体工艺对氯化氢产品的新要求而制定。国家标准GB/T 14602-1993《电子工业用气体 氯化氢》在产品质量控制指标及其检验方法上已不适合当前半导体工艺的新要求，尤其未能规定对半导体器件质量有重要影响的杂质——金属离子的含量。因此，需要制定本标准。
　　本标准对杂质水、甲烷+乙炔和金属离子含量的测定方法与国际先进标准SEMI C3.35—1101的方法基本相似，而对杂质氧+氩、氮和一氧化碳、二氧化碳含量的测定方法则优于标准SEMI C3.35-1101的方法。
　　本标准首次提出了氯化氢专用钢瓶的处理、产品充装和分装规则等。
　　本标准附录A、附录B为规范性附录，附录C为资料性附录。
　　本标准由全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会(SAC/TC 203)提出并归口。
　　本标准起草单位：北京华宇同方化工科技开发有限公司、光明化工研究设计院、信息产业部标准化四所。
　　本标准主要起草人：张吉瑞、孙福楠、刘筠。