标准编号：GB/T 26067-2010
标准名称：硅片切口尺寸测试方法
英文名称：Standard test method for dimensions of notches on silicon wafers
发布部门：国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会
起草单位：有研半导体材料股份有限公司、万向硅峰电子股份有限公司
标准状态：现行
发布日期：2011-01-10
实施日期：2011-10-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准定性的提供了判定硅片基准切口是否满足标准限度要求的非破坏性测试方法。本方法的测试原理同样适用于其他切口尺寸的测量。
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