标准编号：GB/T 26069-2010
标准名称：硅退火片规范
英文名称：Specification for silicon annealed wafers
发布部门：国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会
起草单位：万向硅峰电子股份有限公司、有研半导体材料股份公司、宁波立立电子股份有限公司和杭州海纳半导体有限公司
标准状态：现行
发布日期：2011-01-10
实施日期：2011-10-01
标准格式：PDF
内容简介
本规范规定了半导体器件和集成电路制造用硅退火抛光片的要求、测试方法、检验规则等。本规范适用于线宽180nm、130nm和90nm工艺退火硅片。
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