标准编号：GB/T 26250-2010
标准名称：电子工业用气体 砷化氢
英文名称：Gases for electronic industry - Arsine
发布部门：国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会
起草单位：西南化工研究设计院、上海华爱色谱分析技术有限公司、光明化工研究设计院
标准状态：现行
发布日期：2011-01-14
实施日期：2011-05-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了砷化氢的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于砷化合物与酸反应获得的砷化氢。在半导体器件制备过程中，砷化氢用于掺杂以及化合物半导体外延。
本标准适用于砷化合物与酸反应获得的砷化氢。在半导体器件制备过程中，砷化氢用于掺杂以及化合物半导体外延。
下载地址