标准编号：GB/T 29504-2013
标准名称：300mm 硅单晶
英文名称：300mm monocrystalline silicon
发布部门：国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会
起草单位：有研半导体材料股份有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所、万向硅峰电子股份有限公司、宁波立立电子股份有限公司
标准状态：现行
发布日期：2013-05-09
实施日期：2014-02-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了直径300mm 、 p型、晶向、电阻率0.5Ωocm～20Ωocm硅单晶的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存等。
本标准适用于由直拉法制备的硅单晶，主要用于制作满足集成电路IC用线宽0.13μm及以下技术需求的300mm硅单晶抛光片。
本标准适用于由直拉法制备的硅单晶，主要用于制作满足集成电路IC用线宽0.13μm及以下技术需求的300mm硅单晶抛光片。
下载地址