标准编号：GB/T 29508-2013
标准名称：300mm 硅单晶切割片和磨削片
英文名称：300mm monocrystalline silicon as cut slices and grinded slices
发布部门：国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会
起草单位：有研半导体材料股份有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所
标准状态：现行
发布日期：2013-05-09
实施日期：2014-02-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了直径300mm、p型、晶向、电阻率0.5Ωocm～20Ωocm的硅单晶切割片和磨削片（简称硅片）产品的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存等。
本标准适用于直径300mm直拉单晶经切割、磨削制备的圆形硅片，产品将进一步加工成抛光片，用于制作集成电路IC用线宽90nm技术需求的衬底片。
本标准适用于直径300mm直拉单晶经切割、磨削制备的圆形硅片，产品将进一步加工成抛光片，用于制作集成电路IC用线宽90nm技术需求的衬底片。
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