标准编号：GB/T 29506-2013
标准名称：300mm 硅单晶抛光片
英文名称：300mm polished monocrystalline silicon wafers
发布部门：国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会
起草单位：有研半导体材料股份有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所
标准状态：现行
发布日期：2013-05-09
实施日期：2014-02-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了直径300mm、p型、晶向、电阻率0.5Ωocm～20Ωocm规格的硅单晶抛光片的术语、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。
本标准适用于直径300mm直拉单晶磨削片经双面抛光制备的硅单晶抛光片，产品主要用于满足集成电路IC用线宽90nm技术需求的衬底片。
本标准适用于直径300mm直拉单晶磨削片经双面抛光制备的硅单晶抛光片，产品主要用于满足集成电路IC用线宽90nm技术需求的衬底片。
下载地址