标准编号：GB/T 31058-2014
标准名称：电子工业用气体 四氟化硅
英文名称：Gases for electronic industry―Silicon tetrafluoride
发布部门：国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会
起草单位：核工业理化工程研究院华核新技术开发公司、佛山市华特气体有限公司、绿菱电子材料（天津）有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、贵州大学、西南化工研究设计院有限公司
标准状态：现行
发布日期：2014-12-22
实施日期：2015-07-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了四氟化硅的技术要求、试验方法、标志、包装、运输和贮存等内容。
本标准适用于萤石硫酸法、六氟硅酸盐热分解法、单质硅直接氟化法制备的四氟化硅。它主要用作电子工业中等离子蚀刻、发光二极管P形掺杂、离子注入工艺、外延沉积扩散的硅源和光导纤维用高纯石英玻璃的原料，也是生产多晶硅的重要原料。
分子式：SiF4。
分子量：104.0786128（按2009年国际原子相对质量）
本标准适用于萤石硫酸法、六氟硅酸盐热分解法、单质硅直接氟化法制备的四氟化硅。它主要用作电子工业中等离子蚀刻、发光二极管P形掺杂、离子注入工艺、外延沉积扩散的硅源和光导纤维用高纯石英玻璃的原料，也是生产多晶硅的重要原料。
分子式：SiF4。
分子量：104.0786128（按2009年国际原子相对质量）
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