标准编号：GB/T 30453-2013
标准名称：硅材料原生缺陷图谱
英文名称：Metallographs collection for original defects of crystalline silicon
发布部门：国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会
起草单位：有研半导体材料股份有限公司、东方电气集团峨眉半导体材料有限公司、南京国盛电子有限公司、杭州海纳半导体有公司、万向硅峰电子股份有限公司、四川新光硅业科技有限责任公司、陕西天
标准状态：现行
发布日期：2013-12-31
实施日期：2014-10-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准给出了硅多晶、硅单晶、硅片等各种原生缺陷及其密切相关诱生缺陷术语及其形貌特征等
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