标准编号：GB/T 32816-2016
标准名称：硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范
英文名称：Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the combination of the deep etching and bonding process
发布部门：国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会
起草单位：北京大学,中机生产力促进中心,大连理工大学,北京青鸟元芯微系统科技有限公司
标准状态：现行
发布日期：2016-08-29
实施日期：2017-03-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了采用以深刻蚀和键合为核心的工艺集成进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。
本标准适用于基于以深刻蚀和键合为核心的工艺集成的加工和质量检验。
本标准适用于基于以深刻蚀和键合为核心的工艺集成的加工和质量检验。
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