标准编号：GB/T 32817-2016
标准名称：半导体器件 微机电器件 MEMS总规范
英文名称：Semiconductor devices-Micro-electromechanical devices一 Generic specification for MEMS
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
起草单位：中机生产力促进中心、中国电子科技集团公司第十三研究所、中北大学、南京理工大学、大连理工大学
标准状态：现行
发布日期：2016-08-29
实施日期：2017-03-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准描述了用半导体制造的微机电系统(MEMS)的总规范，规定了用于IECQ-CECC体系质量评定的一般规程，给出了电、光、机械和环境特性的描述和测试的总则。
本标准适用于各类MEMS器件[如传感器、射频MEMS，但不包括光MEMS、生物MEMS、微全分析系统(Micro一TAS)和微能源MEMS]。
本标准适用于各类MEMS器件[如传感器、射频MEMS，但不包括光MEMS、生物MEMS、微全分析系统(Micro一TAS)和微能源MEMS]。
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