标准编号：GB/T 32282-2015
标准名称：氮化镓单晶位错密度的测量 阴极荧光显微镜法
英文名称：Test method for dislocation density of GaN single crystal—Cathodoluminescence spectroscopy
发布部门：国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会
起草单位：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州纳维科技有限公司
标准状态：现行
发布日期：2015-12-10
实施日期：2016-11-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了用阴极荧光显微镜法测试氮化镓单晶位错密度的方法。
本标准适用于位错密度在1×10^3 个/cm2~5×10^8 个/cm2 之间的氮化镓单晶中位错密度的测试。
本标准适用于位错密度在1×10^3 个/cm2~5×10^8 个/cm2 之间的氮化镓单晶中位错密度的测试。
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