标准编号：GB/T 30866-2014
标准名称：碳化硅单晶片直径测试方法
英文名称：Test method for measuring diameter of monocrystalline silicon carbide wafers
发布部门：国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会
起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所、中国电子技术标准化研究院
标准状态：现行
发布日期：2014-07-24
实施日期：2015-02-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了用千分尺测量碳化硅单晶片直径的方法。
本标准适用于碳化硅单晶片直径的测量。
本标准适用于碳化硅单晶片直径的测量。
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