GB/T 30867-2014 碳化硅单晶片厚度和总厚度变化测试方法

标准编号：GB/T 30867-2014

标准名称：碳化硅单晶片厚度和总厚度变化测试方法

英文名称：Test method for measuring thickness and total thickness variation of monocrystalline silicon carbide wafers

发布部门：国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会

起草单位：防化研究院、北京市劳动保护科学研究所、中国安全生产科学研究院、公安部消防局装备处、3M中国有限公司、霍尼韦尔安全防护设备（上海）有限公司、梅思安（中国）安全设备有限公司、德尔格安全设备（中国）有限公司、上海依格安全装备有限公司、国营第八零九厂

标准状态：现行

发布日期：2014-07-24

实施日期：2015-02-01

标准格式：PDF