标准编号：GB/T 30868-2014
标准名称：碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法
英文名称：Test method for measuring micropipe density of monocrystalline silicon carbide wafers―Chemically etching
发布部门：国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会
起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所、中国电子技术标准化研究院
标准状态：现行
发布日期：2014-07-24
实施日期：2015-02-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了利用熔融氢氧化钾腐蚀法测定碳化硅单晶微管密度的方法。
本标准适用于碳化硅单晶微管密度的测定。
本标准适用于碳化硅单晶微管密度的测定。
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