标准编号：GB/T 19199-2015
标准名称：半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法
英文名称：Test methods for carbon acceptor concentration in semi-insulating gallium arsenide single crystals by infrared absorption spectroscopy
发布部门：国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会
起草单位：信息产业专用材料质量监督检验中心、天津市环欧半导体材料技术有限公司、中国电子材料行业协会
标准状态：现行
发布日期：2015-12-10
实施日期：2016-07-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法。
本标准适用于电阻率大于106Ω·cm 的非掺杂和碳掺杂半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的测定。测量范围:室 温 下 从 1.0×1015 atoms/cm3 到 代 位 碳 原 子 的 最 大 溶 解 度,77 K 时 检 测 下 限 为4.0×1014atoms/cm3。
本标准适用于电阻率大于106Ω·cm 的非掺杂和碳掺杂半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的测定。测量范围:室 温 下 从 1.0×1015 atoms/cm3 到 代 位 碳 原 子 的 最 大 溶 解 度,77 K 时 检 测 下 限 为4.0×1014atoms/cm3。
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