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GB/T 34893-2017 微机电系统(MEMS)技术 基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法

标准编号:GB/T 34893-2017
标准名称:微机电系统(MEMS)技术 基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法
英文名称:Micro-electromechanical system technology-Measuring method for in-plane length measurements of MEMS microstructures using an optical interferometer
发布部门:国家质检总局 国家标准委
起草单位:天津大学、中机生产力促进中心、国家仪器仪表元器件质量监督检验中心、南京理工大学中国电子科技集团公司第十三研究所
标准状态:现行
发布日期:2017-11-01
实施日期:2018-05-01
标准格式:PDF
内容简介
本标准规定了基于光学干涉显微镜获取MEMS微结构表面形貌进行面内长度测量的方法。
本标准适用于表面反射率不低于4%,宽深比不低于1:10,且使用光学干涉显微镜能够获取形貌的MEMS微结构。
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