标准编号：GB/T 34898-2017
标准名称：微机电系统（MEMS）技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法
英文名称：Micro electromechanical system technology-Test method for the nonlinear vibration of the MEMS resonant sensitive element
发布部门：国家质检总局 国家标准委
起草单位：北京遥测技术研究所、中机生产力促进中心
标准状态：现行
发布日期：2017-11-01
实施日期：2018-05-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了谐振式传感器中MEMS谐振敏感元件（以下简称敏感元件)非线性振动特性参数的 测试方法。
本标准适用于敏感元件在研制和生产过程中关于非线性振动特性和敏感元件闭环系统频率偏移的测试，其他非MEMS敏感元件可参考使用。
本标准适用于敏感元件在研制和生产过程中关于非线性振动特性和敏感元件闭环系统频率偏移的测试，其他非MEMS敏感元件可参考使用。
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