标准编号：GB/T 10067.410-2014
标准名称：电热装置基本技术条件 第410部分：单晶炉
英文名称：Basic specifications for electroheat installations—Part 410:Single crystal growing furnace
发布部门：国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会
起草单位：西安电炉研究所有限公司、江苏华盛天龙光电设备股份有限公司、西安理工晶科股份有限公司、中冶电炉工程技术中心、国家电炉质量监督检验中心、陕西省电炉工程技术研究中心
标准状态：现行
发布日期：2014-12-05
实施日期：2015-04-16
标准格式：PDF
内容简介
GB/T 10067的本部分规定了对TDR晶体炉的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。
本部分适用于直拉法拉制半导体硅、锗等单晶的单晶炉。
本部分适用于直拉法拉制半导体硅、锗等单晶的单晶炉。
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