标准编号：GB/T 25915.9-2018
标准名称：洁净室及相关受控环境 第9部分：按粒子浓度划分表面洁净度等级
英文名称：Cleanrooms and associated controlled environments—Part 9:Classification of surface cleanliness by particle concentration
发布部门：国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
起草单位：中天道成(苏州)洁净技术有限公司、深圳市吉隆洁净技术有限公司、苏州安泰空气技术有限公司、苏州工业园区嘉合环境技术工程有限公司、苏州净化工程安装有限公司、中国电子工程设计院、中电投工程研究检测评定中心、中国电子学会洁净技术分会、深圳市亿天净化技术有限公司、北京世源希达工程技术公司、中国工程物理研究院八所、深圳新科特种装饰工程公司
标准状态：现行
发布日期：2018-06-07
实施日期：2018-10-01
标准格式：PDF
内容简介
GB/T 25915的本部分阐明了在洁净室及相关受控环境中，按粒子浓度来划分固体表面洁净度等级。附录A～附录D中给出了关于表面特性的信息以及推荐的检测和测量方法。
本部分适用于洁净室及相关受控环境中的所有固体表面，如墙壁、顶棚、地板、生产环境、工具、设备和产品。按粒子浓度划分的表面洁净度等级（SCP）限于粒径0.05 μm～500 μm的粒子。
本部分对以下事项未予考虑：
——特定工艺的洁净度及适合性要求；
——表面的清洁步骤；
——材料特性；
——涉及相互结合力或通常与时间和工艺过程有关的事项；
——分级和测试统计方法的选择和使用；
——粒子的其他特性，如静电电荷、离子电荷、微生物等状况。
本部分适用于洁净室及相关受控环境中的所有固体表面，如墙壁、顶棚、地板、生产环境、工具、设备和产品。按粒子浓度划分的表面洁净度等级（SCP）限于粒径0.05 μm～500 μm的粒子。
本部分对以下事项未予考虑：
——特定工艺的洁净度及适合性要求；
——表面的清洁步骤；
——材料特性；
——涉及相互结合力或通常与时间和工艺过程有关的事项；
——分级和测试统计方法的选择和使用；
——粒子的其他特性，如静电电荷、离子电荷、微生物等状况。
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