标准编号：SJ/T 11495-2015
标准名称：硅中间隙氧的转换因子指南
英文名称：Guide to conversion factors for interstitial oxygen in silicon
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
起草单位：信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司、天津中环领先材料技术有限公司
标准状态：现行
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了硅中间隙氧的转换因子指南
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