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SJ/T 11500-2015 碳化硅单晶晶向的测试方法

标准编号:SJ/T 11500-2015
标准名称:碳化硅单晶晶向的测试方法
英文名称:Test method for measuring crystallographic orientation of monocrystalline silicon carbide
发布部门:中华人民共和国工业和信息化部
起草单位:中国电子科技集团公司第四十六研究所、工业和信息化部电子工业标准化研究院
标准状态:现行
发布日期:2015-04-30
实施日期:2015-10-01
标准格式:PDF
内容简介
本标准规定了利用X射线衍射定向法测定碳化硅单晶晶向的方法。
本标准适用于晶型为6H和4H的碳化硅单晶的晶向测定。
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