标准编号：GB/T 37959-2019
标准名称：含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型
英文名称：Information model for containing process chamber IC equipment design
发布部门：国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
起草单位：中车信息技术有限公司、清华大学、北京机械工业自动化研究所有限公司、中国石油规划总院
标准状态：现行
发布日期：2019-08-30
实施日期：2020-03-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了含工艺腔室类集成电路装备建模仿真设计软件平台信息模型，规定了搭建含工艺腔室类集成电路装备建模仿真设计软件平台的一般性要求。
本标准适用于含工艺腔室类集成电路装备的建模仿真设计软件。
本标准适用于含工艺腔室类集成电路装备的建模仿真设计软件。
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