标准编号：GB/T 38446-2020
标准名称：微机电系统（MEMS）技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法
英文名称：Micro-electromechanical system technology—Test methods for tensile property measurement of strip thin films
发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
起草单位：北京大学、中机生产力促进中心、北京智芯传感科技有限公司、无锡华润上华科技有限公司、中北大学、北京必创科技股份有限公司
标准状态：现行
发布日期：2020-03-06
实施日期：2020-10-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了带状薄膜抗拉性能的试验方法及数据处理。
本标准适用于厚度在50 nm到数微米之间且长度和厚度的比值大于300的样品，也可用于MEMS产品带状薄膜结构的质量监控。
本标准适用于厚度在50 nm到数微米之间且长度和厚度的比值大于300的样品，也可用于MEMS产品带状薄膜结构的质量监控。
下载地址