标准编号：GB/T 38447-2020
标准名称：微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法
英文名称：Micro-electromechanical system technology—Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration
发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
起草单位：北京大学、中机生产力促进中心、北京智芯传感科技有限公司、沈阳国仪检测技术有限公司、浙江博亚精密机械有限公司、中北大学、北京必创科技股份有限公司
标准状态：现行
发布日期：2020-03-06
实施日期：2020-07-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了MEMS结构共振疲劳试验的试验方法，包括设备、试验环境、样品要求、试验条件和试验步骤。
本标准适用于MEMS结构的共振疲劳试验。
本标准适用于MEMS结构的共振疲劳试验。
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