标准编号：GB/T 40129-2021
标准名称：表面化学分析 二次离子质谱 飞行时间二次离子质谱仪质量标校准
英文名称：Surface chemical analysis—Secondary ion mass spectrometry—Calibration of the mass scale for a time-of-flight secondary ion mass spectrometer
发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
起草单位：中山大学
标准状态：现行
发布日期：2021-05-21
实施日期：2021-12-01
标准格式：PDF
内容简介
本文件描述了一种用于优化一般分析目的的飞行时间二次离子质谱（SIMS）仪器的质量校准准确度的方法。
本文件仅适用于飞行时间仪器，但并不限于任何特定的仪器设计。
本文件提供了对一些仪器参数优化的指导，这些参数能使用此程序进行优化，还提供了适用于校准质量标以获得最佳质量准确度的一般峰的类型。
本文件仅适用于飞行时间仪器，但并不限于任何特定的仪器设计。
本文件提供了对一些仪器参数优化的指导，这些参数能使用此程序进行优化，还提供了适用于校准质量标以获得最佳质量准确度的一般峰的类型。
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