标准编号：GB/T 14140.2-1993
标准名称：硅片直径测量方法 千分尺法
英文名称：Silicon slices and wafers--Measuring of diameter--Micrometer method
发布部门：国家技术监督局
起草单位：洛阳单晶硅厂
标准状态：作废
发布日期：1993-02-06
实施日期：1993-10-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了用千分尺测量硅片直径的方法。 本标准适用于测量圆形硅片的直径。 本标准不适用于测量硅片的不圆度。 本标准不作为仲裁测量方法。
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