标准编号：GB/T 16595-1996
标准名称：晶片通用网格规范
英文名称：Specification for a universal wafer grid
发布部门：国家技术监督局
起草单位：中国有色金属工业总公司
标准状态：现行
发布日期：1996-11-04
实施日期：1997-04-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了可用于定量描述公称圆形半导体晶片表面缺陷的网络图形。网络规定包含1 000个面积近似相等的网格单元,每个网格单元相当于受检表面固定优质区总面积的0.1%。根据晶片表面上有缺陷的面积百分比,可定量其非均匀分布的表面缺陷。
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