标准编号：GB/T 16596-1996
标准名称：确定晶片坐标系规范
英文名称：Specification for establishing a wafer coordinatesystem
发布部门：国家技术监督局
起草单位：中国有色金属工业总公司
标准状态：现行
发布日期：1996-11-04
实施日期：1997-04-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了利用晶片中心作为极坐标或直角坐标的原点，可用于确定晶片上任意一点位置的晶片坐标系。
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