标准编号：GB/T 4060-2007
标准名称：硅多晶真空区熔基硼检验方法
英文名称：Polycrystalline silicon - examination method - vacuum zone - melting on boron
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
起草单位：峨眉半导体材料厂
标准状态：现行
发布日期：2007-09-11
实施日期：2008-02-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准适用于多晶硅沉积在硅芯上生长的多晶硅棒基硼的试验。
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