GB/T 14851-2009 电子工业用气体 磷化氢

本标准规定了电子工业用磷化氢的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
　　本标准适用于亚磷酸热分解、磷化物水解、单质磷与水或碱反应等方法获得并经精制得到的磷化氢产品。它主要用于半导体器件和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂。