标准编号：GB/T 29556-2013
标准名称：表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率、分析面积和分析器所能检测到的样品面积的测定
英文名称：Surface chemical analysis - Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy - determination of lateral resolution, analysis area, and sample area viewed by the analyser
发布部门：国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会
起草单位：厦门爱劳德光电有限公司、清华大学化学系、中国科学院化学所
标准状态：现行
发布日期：2013-07-19
实施日期：2014-03-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了俄歇电子能谱和X射线光电子能谱横向分辨率、分析面积和分析器所能检测到的样品面积的测量方法。
本标准适用于俄歇电子能谱和X射线光电子能谱横向分辨率、分析面积和分析器的检测。
本标准适用于俄歇电子能谱和X射线光电子能谱横向分辨率、分析面积和分析器的检测。
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