标准编号：GB/T 29557-2013
标准名称：表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量
英文名称：Surface chemical analysis - Depth profiling - Measurment of sputtered depth
发布部门：国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会
起草单位：中山大学、 浙江大学、中国科学院大连化学物理研究所
标准状态：现行
发布日期：2013-07-19
实施日期：2014-03-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了溅射深度剖析中测量溅射深度的准则。
本标准适用于结合离子轰击剥离部分固体样品的表面化学分析技术，通常溅射深度可达几微米。
本标准适用于结合离子轰击剥离部分固体样品的表面化学分析技术，通常溅射深度可达几微米。
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