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GB/T 31470-2015 俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则

标准编号:GB/T 31470-2015
标准名称:俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则
英文名称:Standard practice for determination of the specimen area contributing to the detected signal in Auger electron spectrometers and some X-ray photoelectron spectrometers
发布部门:国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会
起草单位:信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司、天津中环领先材料技术有限公司
标准状态:现行
发布日期:2015-05-15
实施日期:2016-01-01
标准格式:PDF
内容简介
本标准规定了俄歇电子能谱和部分类型的x射线光电子能谱检测信号对应样品区域的确定方法。
本标准适用于俄歇电子能谱仪和具有以下条件的X射线光电子能谱:人射X光束激发的样品区域大于分析器可检测到的样品区域;光电子从样品到分析器人口的过程中经过自由空间;装配有辅助电子枪可以产生一束可变能量的电子束照射到样品上。
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