标准编号：GB/T 6624-2009
标准名称：硅抛光片表面质量目测检验方法
英文名称：Standard method for measuring the surface quality of polished silicon slices by visual inspection
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
起草单位：上海合晶硅材料有限公司
标准状态：现行
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-06-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了在一定光照条件下，用目测检验单晶抛光片（以下简称抛光片）表面质量的方法。
本标准适用于硅抛光片表面质量检验。外延片表面质量目测检验也可参考本方法进行。
本标准适用于硅抛光片表面质量检验。外延片表面质量目测检验也可参考本方法进行。
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