标准编号：T/NLIA 002-2021
标准名称：汽车MEMS压力传感器灌封工艺仿真规范
英文名称：Simulation Specification for Potting Process of Automotive MEMS Pressure Sensor
发布部门：武汉·中国光谷激光加工产业技术创新战略联盟
起草单位：武汉大学，武汉飞恩微电子有限公司，上达电子（深圳）有限公司，武汉华工激光工程有限责任公司，华中科技大学，中国地质大学（武汉），武汉华工赛百数据系统有限公司，深圳优艾智合机器人科技有限公司，深圳市诚亿自动化科技有限公司，深圳技术大学，武汉科技大学
标准状态：现行
发布日期：2021-04-26
实施日期：2021-06-01
标准格式：PDF
内容简介
本文件规定了汽车 MEMS 压力传感器灌封工艺的仿真信息，包含了汽车 MEMS 压力传感器灌封工 艺仿真的基本流程：仿真模型构建、仿真运行分析、结果评价与工艺优化等。 本文件用于指导汽车 MEMS 压力传感器产品的生产、供应和使用，以促进传感器工艺仿真模型的 使用和灌封工艺的改良。本文件适用的汽车 MEMS 压力传感器产品包括： 汽车胎压传感器； 机油压力传感器； 燃油压力传感器； 燃油蒸汽压力传感器； 制动真空度传感器； 汽车尾排气压力传感器等。
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