2017年2月27日 ... 本标准描述了用半导体制造的微机电系统(MEMS)的总规范，规定了用于IECQ-CECC体系质量评定的一般规程，给出了电、光、机械和环境特性的描述和测试的

2017年2月27日 ... 本标准规定了采用以深刻蚀和键合为核心的工艺集成进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。本标准适用于基于以深刻蚀和键合为核心的

2017年2月27日 ... 本标准规定了采用体硅压阻工艺进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。本标准适用于硅基MEMS制造技术中基于背腔腐蚀和硅玻璃键合的体

2017年2月27日 ... 本标准规定了采用SOI硅片进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。本标准适用于硅基MEMS制造技术中基于SOI硅片的MEMS器件的加工和质量检验。

2017年2月27日 ... 本标准规定了阀门的型号编制方法、代号表示方法、型号编制示例。本标准适用于各类阀门的型号编制，阀门类型包括:阅阀、截止阀、节流阀、蝶阀、

2017年2月27日 ... 本标准规定了数字化城市管理信息系统地理编码的一般要求、基本地点数据内容、地理编码规则和数据质量要求。本标准适用于数字化城市管理信息系

2017年2月27日 ... 本标准规定了高碳铬轴承钢的分类与代号、订货内容、尺寸、外形、技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志及质量证明书。本标准适用于制作轴

2017年2月27日 ... 本标准规定了煤炭工业分析仪的安全要求。本标准适用于测定煤、焦炭中的水分、灰分、挥发分的煤炭工业分析仪(以下简分析仪)。

2017年2月27日 ... 本标准规定了氧弹式热量计的安全要求。本标准适用于测定煤、焦炭、粮食、石油等固态、液态可燃物质热值的氧弹式热量计(以下简称热量计)。

2017年2月27日 ... 本标准规定了医用电子加速器的性能指标和试验方法。 本标准适用于医疗事业中以治疗为目的的医用电子加速器。 本标准适用于配备有等中心机架的医